TRIMOS測高儀的規范使用方法

　　TRIMOS測高儀是精密測量領域的常用設備，能實現對工件高度、深度、平面度等參數的高精度檢測（分辨率達 0.1μm），其規范使用需遵循嚴格的操作流程，以確保測量誤差控制在 0.5μm/m 以內。?

　　操作前的準備工作直接影響測量精度。首先需將測高儀放置在恒溫恒濕環境（溫度 20±1℃，濕度 40%-60%），避免溫度波動（每小時溫差≤0.5℃）導致設備熱變形。使用前需開機預熱 30 分鐘，使光柵尺與電子系統達到熱穩定狀態。清潔測量平臺與測針（測針可選硬質合金或紅寶石材質，直徑 1-3mm），用無水乙醇擦拭去除油污，確保測針球頭無磨損（磨損量超過 0.5μm 需更換）。檢查工件表面是否平整，無毛刺、劃痕，必要時用磁力表座固定工件，防止測量過程中位移。?
 

　　校準步驟是保證數據可靠的核心。首先進行零點校準：將測針輕觸測量平臺基準面，按下 “清零” 鍵，此時顯示屏高度值應顯示為 0.0000mm，重復 3 次校準，偏差需≤0.2μm。隨后用標準量塊（如 100mm 等級 1 量塊）進行線性校準，將量塊放置在平臺中央，測針分別接觸量塊兩端，記錄測量值與量塊標稱值的差值，若誤差超過 0.3μm，需通過設備菜單進行修正。

　　測量操作需遵循 “三點定位” 原則。針對高度測量，將工件平穩放置在平臺上，移動測頭至測量位置，按下 “測量” 鍵，測針以 5-10mm/min 的速度接觸工件表面（接觸力控制在 0.5-1.5N），待數值穩定后記錄數據。測量臺階高度時，需分別測量臺階上下表面的高度值，系統自動計算差值（如測得上表面 25.3215mm、下表面 5.1208mm，臺階高度為 20.2007mm）。對于平面度測量，需在工件表面均勻選取至少 5 個測點，設備軟件自動計算平面度誤差（按最小二乘法）。?

　　數據處理與維護保障長期使用精度。設備內置數據存儲功能，可記錄 1000 組測量數據，支持通過 USB 接口導出至電腦，用專用軟件生成測量報告（包含最大值、最小值、平均值等統計參數）。測量結束后，需將測針移動至安全位置（距平臺≥50mm），關閉電源前需確認測頭已離開工件。日常維護需每周清潔光柵尺軌道（用專用擦鏡紙蘸異丙醇擦拭），每月檢查測針固定螺絲的松緊度，防止測針松動導致測量偏差。?

　　TRIMOS測高儀使用過程中還需注意環境干擾：避免在強磁場（如電焊機附近）或振動源（如沖床）旁使用，測量時操作人員需戴手套，防止手溫影響工件溫度。通過規范操作，TRIMOS 測高儀能穩定實現微米級精度測量，成為機械加工、模具制造等領域質量控制的關鍵工具。